Lanserar ny vakuummätare i CNR-serien

Ny CenterLine-modell för precisionsmätning

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – ett företag inom den globala Busch-koncernen – presenterar CenterLine CNR-serien, en utökning av den befintliga CenterLine-familjen av vakuummätare, särskilt anpassad för de krävande driftförhållandena inom halvledarindustrin.

CenterLine CNR-serien består av analoga kapacitiva vakuummätare som kan mäta över fyra storleksordningar inom området 0,1 till 1000 Torr. Serien finns i både uppvärmda och ouppvärmda varianter och utökar den befintliga CenterLine-produktfamiljen med tillförlitliga mätningar även under de mest krävande förhållandena. Precis som övriga CenterLine-mätare erbjuder CNR-serien en optimal balans mellan kostnad och prestanda och kan enkelt integreras i befintliga installationer, även med mätteknik från andra tillverkare.

CNR-mätare används idealiskt i kombination med tryckregleringsventiler och kan användas för en mängd olika tillämpningar inom halvledarindustrin, såsom torretsning, CVD- och ALD-processer. De kan också användas inom analys, FoU och flera andra branscher. I denna produktutökning finns fem olika versioner tillgängliga: 36x, 37x, 38x, 39x och 30x. Alla produkter i serien är SEMI S2-kompatibla.

För processer vid alla temperaturer
CenterLine CNR-serien erbjuder flera alternativ för processer vid olika temperaturer. 36x är en ouppvärmd variant för tillförlitliga mätningar vid rumstemperatur med en noggrannhet på 0,2 %.

Självuppvärmande versioner finns även vid 45, 100, 160 och 200 °C. Varianten på 45 °C har en noggrannhet på 0,15 %, vilket gör den utmärkt för kalibreringslaboratorier och kvalitetskontroll. De övriga självuppvärmda versionerna har en noggrannhet på 0,4 % och möjliggör mer exakta avläsningar i högtemperatur- eller hetgasprocesser än jämförbara mätare.

Motståndskraft mot kontaminering och korrosion
En membransensor utgör hjärtat i mätinstrumentet. Den skyddas av ett stabilt och motståndskraftigt keramiskt skydd, belagt genom atomic layer deposition (ALD). Detta skydd förhindrar att sensorn utsätts för de höga temperaturerna hos processgaserna samt skyddar mot korrosion. Det säkerställer högre tillförlitlighet och noggrannhet, samt längre livslängd för sensorn – även under tuffa plasmaförhållanden – tack vare minskad kontaminering. Eftersom sensorskift (drift) också minimeras, behövs kalibrering mer sällan, vilket i sin tur sänker den totala ägandekostnaden.

Tryckkontroll – “p-control” filterinställning
Mätarna i CenterLine CNR-serien är utrustade med en särskild filterinställning kallad “p-control”, eller tryckkontroll. Denna inställning är snabb och adaptiv, vilket gör att mätaren reagerar snabbare på tryckförändringar och ger exakt och jämn tryckreglering. Denna funktion är särskilt effektiv i kombination med en tryckregleringsventil.

2025-05-21 - Industritorget

Kontaktinformation

Busch Pfeiffer Vacuum AB

010 178 42 00

Se hemsida

Skicka e-post

Kontakter

Filmer

Karta

Skriv ut
Tipsa

Postadress
Växthusvägen 2
43533 Mölnlycke

Besöksadress
Växthusvägen 2
43533 Mölnlycke

Region
Härryda
Västra Götalands län
Sverige

Organisationsnummer:
556198-1308

Grundat: 1978
Anställda: 26

Kontakter

Filmer

Karta

Välkommen till Busch Pfeiffer Vacuum AB!

Busch Pfeiffer Vacuum finns nära dig i Sverige. Vi hjälper dig att ta fram rätt vakuumlösning, system eller centralvakuum efter dina behov och kan erbjuda servicelösningar ute hos kunder i hela landet. Vårt huvudkontor ligger i Mölnlycke, utanför Göteborg, och vi har servicecenter i Uppsala, Helsingborg och Skellefteå.

Busch Group är en av världens största tillverkare av vakuumpumpar, vakuumsystem, blåsmaskiner, kompressorer och gasavskiljningssystem. Under sitt paraply rymmer gruppen tre välkända varumärken: Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum och Centrotherm clean solutions.

Det omfattande produktutbudet gör Busch Group till din föredragna leverantör för lösningar inom vakuum, övertryck och avskiljningsapplikationer inom alla branscher, såsom halvledare, livsmedel, analys, kemikalier, metallurgi och plast. Detta inkluderar även design och konstruktion av skräddarsydda vakuumsystem och branschens mest omfattande världsomspännande service nätverk.

Busch Group är ett familjeföretag som drivs av familjen Busch. Mer än 8 000 anställda i 45 länder över hela världen arbetar för gruppen. Sedan sin början för mer än 60 år sedan är Busch baserat i Maulburg, Tyskland.

Tillverkning sker i 19 egna produktionsanläggningar i Kina, Tjeckien, Frankrike, Tyskland, Indien, Rumänien, Sydkorea, Schweiz, Storbritannien, USA och Vietnam, alltid nära sina kunder för snabb leverans runt om i världen.

Det som kännetecknar det familjeägda Busch Group är stabilitet, pålitlighet och flexibilitet. Denna kombination gör oss till din bästa helhetsleverantör på vakuummarknaden för innovativa och individuella lösningar.

arrow_downwardSe nedan för mer information om vår verksamhet.

Skicka förfrågan